無(wú)塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃的移動(dòng)、擴(kuò)散會(huì)受到氣流的支配。無(wú)塵車間是利用HEPA（高效過(guò)濾器）、ULPA（超高效過(guò)濾器）過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)這兩種過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可以說(shuō)是十分干凈了。然而無(wú)塵車間內(nèi)除了人以外，還有機(jī)器等發(fā)塵源，這些塵埃一旦擴(kuò)散，就無(wú)法保持無(wú)塵的空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
無(wú)塵車間內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般無(wú)塵車間的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：
    (a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；
    (b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般的無(wú)塵車間，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無(wú)塵車間的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無(wú)塵車間組裝材料、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于無(wú)塵空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因此將會(huì)受到污染，產(chǎn)品合格率也會(huì)降低。
無(wú)塵車間內(nèi)的工作臺(tái)等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近的潔凈度將會(huì)較差，在工作臺(tái)面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料的選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，也是氣流是否成為渦流現(xiàn)象的重要因素。
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